Поскольку молибден обладает характеристиками высокой температуры плавления, высокой проводимости, низкого специфического импеданса, хорошего коррозионного сопротивления и защиты окружающей среды, в электронном промышленности широко используется мишень молибдена, такие как плоские панель, солнечные элементы, солнечные элементы, электроды и проводные материалы. Теперь сообщите редактору и всем о характеристиках мишени молибдена в продуктах вольфрамового молибдена?
1. Цель молибдена высокой чистоты
Чем выше чистота мишени молибдена, тем лучше выступление пленки. Как правило, чистота мишени распыления молибдена необходима для достижения не менее 99,95%. Однако, с непрерывным улучшением масштаба стеклянных субстратов в ЖК -отрасли, необходимо расширить длину проводки, а ширина линии должна быть более тонкой. Чтобы обеспечить однородность пленки и качество проводки, требования к чистоте мишени для распыления молибдена также улучшаются соответственно. Следовательно, в соответствии с масштабами подложки из раздутого стекла и среды применения, чистота мишени распыления молибдена должна составлять 99,99% -99. 999% или даже выше.
2. мишени молибдена высокой плотности
Во время процесса распыляющегося покрытия, когда разборка с низкой плотностью бомбардируется, внезапно выпускается газ во внутренних полях мишени, что приводит к тому, что крупномасштабные целевые частицы или разбрызгивание микрочастиц или после формирования пленки пленка засыпана вторичными электронами, образуя разбрызгивание микрочастиц. Появление этих частиц снизит качество пленки. Чтобы уменьшить поры в целевом твердого веществ, и улучшить производительность пленки, целевая разброса, как правило, должна иметь более высокую плотность. Для мишеней на молибденах относительная плотность должна быть выше 98%.
3. Размер зерна
Как правило, мишени для распыления молибдена являются поликристаллическими структурами, а размер зерна может варьироваться от микрон до миллиметров. Экспериментальные исследования показали, что скорость распыления мелких целей зерна быстрее, чем у грубых зерен, а распределение толщины осажденных пленок является более равномерным для целей с меньшими различиями в размере зерна.
4. направление кристаллизации
Во время распыления атомы мишени просто предпочтительно распыляются вдоль направления гексагонального расположения атомов. Следовательно, для достижения скорости распыления скорость распыления часто увеличивается за счет изменения целевой кристаллической структуры. Направление кристаллизации цели также оказывает большое влияние на однородность толщины пленки с распыленной. Следовательно, получение целевой структуры с определенной кристаллической ориентацией имеет решающее значение для процесса разрыва пленки.
5. Термическая и электрическая проводимость
Производители продуктов вольфрамового и молибдена говорят вам, что перед распылением мишень для размаскивания молибдена должна быть связана с шасси без кислорода (или алюминиевого и других материалов), чтобы гарантировать, что тепловая и электрическая проводимость цели и шасси хороши в процессе разрыва. После привязки необходимо пройти ультразвуковую проверку, чтобы гарантировать, что не связанная с ними площадь между ними менее 2%, чтобы соответствовать требованиям мощного распыления без падения.
6. Производительность мишени молибдена
Чистота: чистый молибден больше или равен 99,95%, высокий температурный молибден больше или равен 99% (с добавленными редкоземельными элементами)
Плотность: больше или равна 10,2 г/см3
Точка плавления: 2610 градусов
Технические характеристики: круглая цель, цель пластины, вращающаяся цель
Применимая среда: вакуумная среда или среда защиты от инертного газа, чистый молибден в вольфрамовых продуктах молибденах выше, высокая температурная устойчивость 1200 градусов, сплав молибдена выше и высокая температура на 1700 градусов.